選擇納米位移臺的行程范圍需要根據(jù)實驗的具體需求進行綜合評估，主要考慮以下幾個方面：
1. 實驗?zāi)繕?biāo)決定行程范圍
小行程（＜100 μm）：
適用于高精度定位或微小區(qū)域掃描，如原子力顯微鏡（AFM）探針校準(zhǔn)、納米壓痕測試等。這類應(yīng)用通常需要亞納米級分辨率，壓電陶瓷驅(qū)動位移臺是理想選擇。
中等行程（100 μm~5 mm）：
適合表面形貌成像、生物細胞操作或微加工等場景。此時需平衡精度和運動范圍，壓電電機或絲杠驅(qū)動較為常見。
大行程（＞5 mm）：
用于宏觀定位，如半導(dǎo)體晶圓檢測、大面積樣品掃描。通常采用伺服電機+滾珠絲杠方案，但需注意精度可能降低至微米級。
2. 精度與速度的權(quán)衡
高精度需求（如1 nm分辨率）：
優(yōu)先選擇壓電陶瓷驅(qū)動，但行程通常較?。ā?00 μm）。閉環(huán)控制（如電容傳感器反饋）可進一步提升穩(wěn)定性。
快速掃描需求（如每秒數(shù)毫米）：
音圈電機或直線電機更適合，但需注意加速度和振動對精度的影響。
3. 負(fù)載與環(huán)境適應(yīng)性
負(fù)載能力：
樣品或附加設(shè)備的重量需小于位移臺的負(fù)載（如小行程臺負(fù)載常＜1 kg，大行程臺可達5~10 kg）。
環(huán)境條件：
真空兼容性：壓電陶瓷或無刷電機驅(qū)動更適合真空環(huán)境。
溫度穩(wěn)定性：陶瓷材料比金屬更耐熱膨脹，適合溫控實驗。
4. 動態(tài)性能考量
掃描頻率：
高頻往復(fù)運動（如＞10 Hz）需選擇低慣量的壓電驅(qū)動或音圈電機。
抗振動能力：
若實驗環(huán)境存在振動（如光學(xué)平臺外），需選擇剛性結(jié)構(gòu)或主動隔振設(shè)計。
5. 實際選型步驟
明確核心需求：
例如：“需在5 mm范圍內(nèi)實現(xiàn)50 nm步進，負(fù)載500 g”。
排除不匹配選項：
壓電陶瓷臺行程不足（＜1 mm），故選中行程壓電電機或絲杠臺。
驗證動態(tài)性能：
檢查速度是否滿足掃描時間要求，加速度是否避免振動。
環(huán)境與擴展功能：
如多軸聯(lián)動需行程匹配，或真空環(huán)境下選擇無潤滑設(shè)計。