分辨率和靈敏度在納米位移臺(tái)里是兩個(gè)相關(guān)但不同的概念：
一、分辨率
分辨率描述的是 位移臺(tái)能夠區(qū)分的最小位移增量。
它回答的是：這個(gè)臺(tái)子最小能“走”多小的一步？
通常由驅(qū)動(dòng)器性能、反饋傳感器精度以及電噪聲水平?jīng)Q定。
舉例：某臺(tái)位移臺(tái)分辨率為 0.5 nm，意味著它可以區(qū)分 0.5 nm 的位置變化。
二、靈敏度
靈敏度描述的是 位移臺(tái)對(duì)輸入信號(hào)或外界刺激的響應(yīng)能力，即輸入變化引起的輸出變化幅度。
它回答的是：給一點(diǎn)輸入，臺(tái)子能“感覺到”并產(chǎn)生多大位移？
在壓電驅(qū)動(dòng)臺(tái)中，靈敏度通常指“電壓–位移系數(shù)”（例如 10 nm/V）。
靈敏度越高，單位電壓產(chǎn)生的位移越大，但這不代表分辨率更高。
三、區(qū)別總結(jié)
分辨率是“最小能分開的距離”，強(qiáng)調(diào)能否可靠地區(qū)分細(xì)微位移。
靈敏度是“輸入和輸出的比例關(guān)系”，強(qiáng)調(diào)響應(yīng)幅度大小。
舉個(gè)比喻：
靈敏度好比“油門的靈敏程度”，踩一點(diǎn)油門，車子加速多少。
分辨率好比“能控制車速的最小變化”，能否穩(wěn)定在 60.1 km/h 而不是只能到 61 km/h。
四、關(guān)系
高靈敏度并不一定意味著高分辨率，因?yàn)槿绻肼暣?，雖然位移響應(yīng)大，但無法控制到細(xì)微的步長。
高分辨率也不一定需要高靈敏度，關(guān)鍵在于驅(qū)動(dòng)和反饋系統(tǒng)能否穩(wěn)定分辨微小變化。