提升納米位移臺(tái)的重復(fù)運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確度，關(guān)鍵在于降低系統(tǒng)誤差、機(jī)械誤差以及環(huán)境干擾。以下方法可顯著提高重復(fù)定位能力，適用于壓電、步進(jìn)、電機(jī)混合型位移臺(tái)。
提升位移臺(tái)重復(fù)運(yùn)動(dòng)準(zhǔn)確度的方法
開(kāi)啟閉環(huán)控制
使用光柵尺或電容式反饋傳感器，由控制器實(shí)時(shí)修正位置誤差，可顯著提升重復(fù)定位精度。
減少回程誤差（Backlash）
固定運(yùn)動(dòng)方向，例如定位時(shí)盡量“同向接近目標(biāo)”；避免來(lái)回切換方向?qū)е聶C(jī)械間隙誤差放大。
優(yōu)化加減速參數(shù)
設(shè)置平滑加速/減速，減少過(guò)沖與震蕩，提高每次到位的穩(wěn)定性。
降低移動(dòng)速度
慢速模式更易穩(wěn)定停靠，有助于提高重復(fù)到位一致性，尤其在納米級(jí)定位中效果明顯。
減小環(huán)境干擾
使用減震平臺(tái)，遠(yuǎn)離泵或風(fēng)扇；保持溫度穩(wěn)定，減少熱膨脹導(dǎo)致的重復(fù)性漂移。
預(yù)熱與穩(wěn)定時(shí)間
位移臺(tái)和控制器預(yù)熱后性能更穩(wěn)定；每次到位后可加入短暫停留，讓系統(tǒng)完成收斂。