納米位移臺在同步掃描中的時間延遲是一個常見但影響成像或測量精度的問題。它可能來自驅(qū)動器、控制系統(tǒng)、傳感器響應(yīng)，或軟件處理延時。想要補(bǔ)償這類延遲，關(guān)鍵在于提前建模、預(yù)測響應(yīng)并在控制邏輯中進(jìn)行校正。下面是幾種常用方法：
1. 前饋補(bǔ)償（Feedforward Compensation）
這是直接的方式：
在控制指令發(fā)出時，加入預(yù)測的延遲補(bǔ)償量，提前發(fā)送指令。
原理是：系統(tǒng)有已知延遲 τ\tauτ，就讓控制信號提前 τ\tauτ 時間發(fā)出。
適合系統(tǒng)延遲固定或變化規(guī)律可建模的情況。
2. 延遲建模與系統(tǒng)辨識
先通過實(shí)驗(yàn)測量系統(tǒng)的實(shí)際響應(yīng)時間，建立延遲模型，比如：
輸入信號 vs. 實(shí)際位移響應(yīng)之間的時差；
利用階躍響應(yīng)、頻率掃描等方法建立傳遞函數(shù)。
然后將延遲項加入控制器設(shè)計中，例如用Smith Predictor等方法對延遲系統(tǒng)進(jìn)行補(bǔ)償。
3. 使用相位補(bǔ)償或?yàn)V波
如果使用的是閉環(huán)控制系統(tǒng)，可以通過：
相位提前濾波器來對控制指令進(jìn)行修正；
在掃描信號（如鋸齒波、正弦波）前加一個預(yù)移相位，讓輸出在目標(biāo)位置時正好響應(yīng)同步。
適用于周期性掃描（如AFM、掃描電鏡等中的快速軸掃描）。
4. 硬件優(yōu)化
更換響應(yīng)速度更快的控制器或驅(qū)動放大器；
減小系統(tǒng)慣性、摩擦等機(jī)械滯后；
使用更高采樣率的ADC/DAC和更快的實(shí)時系統(tǒng)。
雖然不是補(bǔ)償本身，但從源頭減少延遲，是根本的辦法。
5. 軟件時間對齊
如果你是用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集（如Igor Pro、LabVIEW等）：
記錄觸發(fā)信號時間戳和反饋信號時間戳；
在后處理階段，利用這些時間信息將數(shù)據(jù)進(jìn)行重采樣、插值、時間軸對齊。
這種方式適合做后期修正，不能實(shí)時補(bǔ)償，但對準(zhǔn)確分析很有效。