納米位移臺(tái)的閉環(huán)校準(zhǔn)是為了確保傳感器反饋值與實(shí)際位移高度一致，保證整體定位精度和重復(fù)性。整個(gè)過程通常包括以下關(guān)鍵步驟：
1. 準(zhǔn)備工作
確認(rèn)環(huán)境穩(wěn)定，避免振動(dòng)、氣流、溫度波動(dòng)。
預(yù)熱設(shè)備，使位移臺(tái)、傳感器和電子系統(tǒng)達(dá)到熱穩(wěn)定狀態(tài)。
連接高精度參考儀器，例如激光干涉儀、納米級(jí)位移傳感器（如電容傳感器、位移計(jì)）。
2. 測(cè)量與采集基準(zhǔn)數(shù)據(jù)
設(shè)置初始位置，讓位移臺(tái)從一個(gè)固定參考點(diǎn)開始移動(dòng)。
以小步長(zhǎng)掃描，比如每步1 nm、10 nm或更小，記錄每個(gè)指令位置的反饋信號(hào)和參考測(cè)量值。
覆蓋整個(gè)運(yùn)動(dòng)行程，包括正向和反向，識(shí)別是否存在滯后或非線性。
3. 誤差分析
繪制指令值 vs 實(shí)際位移曲線，觀察是否有線性誤差、非線性誤差或滯后。
計(jì)算誤差曲線，比如繪制實(shí)際值減去理論指令值后的誤差分布。
4. 建立補(bǔ)償模型
如果主要是線性誤差，可以用簡(jiǎn)單線性比例系數(shù)修正。
如果存在非線性誤差，可以建立多段線性補(bǔ)償表、多項(xiàng)式擬合曲線或查表補(bǔ)償。
有時(shí)需要同時(shí)補(bǔ)償正向和反向不同軌跡（抗滯后補(bǔ)償）。
5. 上傳補(bǔ)償數(shù)據(jù)到控制器
將誤差補(bǔ)償表、校準(zhǔn)因子或補(bǔ)償函數(shù)寫入到位移臺(tái)的控制器或軟件中。
部分控制系統(tǒng)支持自動(dòng)應(yīng)用補(bǔ)償；也有需要用戶手動(dòng)配置的。
6. 校準(zhǔn)驗(yàn)證
重新移動(dòng)測(cè)試，使用同樣的激光干涉儀或標(biāo)準(zhǔn)位移傳感器測(cè)量，驗(yàn)證經(jīng)過補(bǔ)償后的實(shí)際位移與指令值的吻合程度。
如果誤差仍然存在，繼續(xù)細(xì)化補(bǔ)償表或調(diào)整PID參數(shù)。