納米位移臺(tái)一般依靠壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器或精密電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)，其單次行程往往受到材料變形量、驅(qū)動(dòng)電壓和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的限制，通常在微米到毫米級(jí)范圍。如果要實(shí)現(xiàn)超長(zhǎng)行程移動(dòng)，可以采用以下幾種方法：
步進(jìn)掃描（步進(jìn)位移臺(tái)）：利用壓電陶瓷的“爬行驅(qū)動(dòng)”方式（stick-slip 或 inertial drive），通過連續(xù)的小步位移疊加，實(shí)現(xiàn)厘米甚至更長(zhǎng)的位移范圍。
復(fù)合驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)：將壓電驅(qū)動(dòng)與電機(jī)、絲杠、導(dǎo)軌等組合。電機(jī)實(shí)現(xiàn)大范圍移動(dòng)，壓電元件負(fù)責(zé)微調(diào)和高精度定位，既兼顧長(zhǎng)行程又保留納米分辨率。
直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)：使用精密直線電機(jī)與光柵尺反饋，能實(shí)現(xiàn)幾十毫米甚至上百毫米的運(yùn)動(dòng)，同時(shí)保持較高精度。
多級(jí)傳遞機(jī)構(gòu)：通過齒輪、杠桿或柔性放大機(jī)構(gòu)，將有限的壓電位移放大到更長(zhǎng)的行程，但這種方式可能會(huì)犧牲一定的剛性和分辨率。
閉環(huán)反饋控制：在超長(zhǎng)行程下，誤差容易累積，因此需要結(jié)合電容傳感器、光學(xué)編碼器或干涉儀等反饋系統(tǒng)來保持精度。
一般實(shí)驗(yàn)室里，如果你既要超長(zhǎng)行程又要納米精度，常用的方案是電機(jī)+壓電復(fù)合驅(qū)動(dòng)，大范圍由電機(jī)移動(dòng)，精細(xì)調(diào)整由壓電完成。