納米位移臺(tái)的周期性誤差，通常指的是由導(dǎo)螺桿、絲杠等機(jī)械傳動(dòng)部件固有的制造缺陷（如螺距誤差）引起的，在移動(dòng)特定距離（通常為一圈）時(shí)重復(fù)出現(xiàn)的定位誤差。校準(zhǔn)這種誤差需要使用高精度的反饋傳感器進(jìn)行閉環(huán)補(bǔ)償。
以下是系統(tǒng)性校準(zhǔn)的步驟和方法：
核心原理：基于參考的閉環(huán)映射與補(bǔ)償
校準(zhǔn)的本質(zhì)是比較指令位置和實(shí)際位置，建立誤差映射表，并進(jìn)行實(shí)時(shí)補(bǔ)償。
標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)流程
準(zhǔn)備工作
高精度參考傳感器：這是校準(zhǔn)的關(guān)鍵。需要使用比位移臺(tái)自身精度高一個(gè)數(shù)量級(jí)的傳感器，如：
激光干涉儀：提供高精度的長(zhǎng)度基準(zhǔn)。
高精度電容傳感器或光柵尺：同樣可以作為可靠的參考。
穩(wěn)定環(huán)境：在校準(zhǔn)前，確保設(shè)備在恒溫、無(wú)振動(dòng)、無(wú)氣流干擾的環(huán)境下穩(wěn)定足夠長(zhǎng)的時(shí)間（例如24小時(shí)），以最小化環(huán)境帶來(lái)的測(cè)量誤差。
數(shù)據(jù)采集（建立誤差映射表）
將參考傳感器安裝在位移臺(tái)上，使其能夠精確測(cè)量臺(tái)面的實(shí)際位移。
通過(guò)控制器，命令位移臺(tái)以極小且均勻的步長(zhǎng)（遠(yuǎn)小于誤差周期）在其全程內(nèi)移動(dòng)。
在每一個(gè)步長(zhǎng)處，同時(shí)記錄：
指令位置：位移臺(tái)控制器發(fā)出的位置指令。
實(shí)際位置：由參考傳感器測(cè)量到的真實(shí)位置。
這樣，您就得到了一系列數(shù)據(jù)點(diǎn)，描繪出整個(gè)行程內(nèi)“指令位置”與“實(shí)際位置”之間的差異。
誤差分析與建模
將采集到的數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，計(jì)算每個(gè)點(diǎn)的誤差：誤差 = 實(shí)際位置 – 指令位置。
繪制誤差曲線。對(duì)于周期性誤差，您會(huì)看到一條圍繞零值周期性波動(dòng)的曲線。
控制器軟件會(huì)利用這些數(shù)據(jù)，通過(guò)算法（如查表法插值或傅里葉分析擬合）生成一個(gè)誤差補(bǔ)償表。這個(gè)表告訴控制器，當(dāng)移動(dòng)到某個(gè)指令位置時(shí)，需要增加或減少多少位移量來(lái)進(jìn)行修正。
補(bǔ)償表上傳與驗(yàn)證
將生成的誤差補(bǔ)償表上傳或燒錄到位移臺(tái)的控制器中。
重新進(jìn)行測(cè)量驗(yàn)證：讓位移臺(tái)再次在全行程內(nèi)移動(dòng)，并比較補(bǔ)償后的實(shí)際位置與指令位置。校準(zhǔn)成功的標(biāo)志是 residual error（殘余誤差）被顯著降低，達(dá)到一個(gè)可接受的水平。