納米位移臺在做單軸運動時，如果出現(xiàn)橫向偏移，通常來自機械耦合、導(dǎo)軌誤差或驅(qū)動不均勻。要提高運動的純直線性，可從結(jié)構(gòu)、控制和環(huán)境三方面著手。
降低納米位移臺橫向偏移的方法
使用閉環(huán)反饋控制
開啟光柵或電容傳感器反饋，可實時修正橫向漂移，讓位移更加貼近理想直線。
優(yōu)化負載安裝位置
將負載放在運動中心軸線附近，避免偏心安裝導(dǎo)致橫向力矩，從而減小橫向偏移。
降低移動速度并平滑加減速
高速運動和突變加速度會引起慣性側(cè)向力，降低速度并設(shè)置緩啟動/緩?fù)Ｖ箍蓽p小偏移量。
改善機械導(dǎo)軌狀態(tài)
導(dǎo)軌磨損、預(yù)緊力不足或滑塊松動都會導(dǎo)致橫向串動，定期檢查緊固與潤滑可顯著改善。
減小外界干擾
使用減震平臺，遠離泵和風扇等振源；保持溫度穩(wěn)定以減少熱致微偏移。
避免橫向力輸入
控制樣品支架、線纜、探針等附件的位置，避免拉力或側(cè)向應(yīng)力推動位移臺產(chǎn)生偏移。