傳統(tǒng)納米位移臺行程小而微米電動臺分辯精度不高，性能無法達到要求。而壓電驅(qū)動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的步長，正好解決了這一問題。目前壓電驅(qū)動納米位移臺在科研市場、半導體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學、通信等行業(yè)有廣泛應用。 壓電驅(qū)動納米位移臺...

壓電二維納米位移臺 XYMF-133-lODA，為長行程納米平移臺，具有分辨率高，行程大，帶有高精度及高分辨率的位置反饋，操作簡單，定位糟準，能在真空下使用等優(yōu)點，其中XYMF-133-100A平移臺可實現(xiàn)在XY二維空間上的準確定位，可應用于需要納米精度運動操作及定位的各個領域。 壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需...

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF系列，通過壓電陶瓷驅(qū)動，具有定位準確，位置保持性好，自帶鎖緊，能360°旋轉(zhuǎn)等優(yōu)點。在增強位置反饋模塊后，可實現(xiàn)高精度及高分辨率的開環(huán)/閉環(huán)控制，適用于大氣及真空環(huán)境下工作。 壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF系列應用： 1、電子顯微鏡原位納米探針臺。 2、半導體芯片檢測。 3、光刻機工件臺。 4、微生...

壓電驅(qū)動納米位移臺，使用壓電陶瓷作為運動促動元件，可以在數(shù)百毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)亞納米級別的Z小步長，從而解決了傳統(tǒng)納米臺行程小而微米電動臺分辯精度不高的問題。在科研市場、半導體市場、先進制造業(yè)、生物醫(yī)藥行業(yè)、光學、通信等行業(yè)有廣泛應用。 壓電納米位移臺優(yōu)勢： 1、結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性。 2、高精度柔性鉸鏈導向...

今天卓聚科技小編來給大家介紹一下等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備的技術基礎。 1、等離子體增強化學氣相沉積的主要過程 等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）技術是借助于輝光放電等離子體使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術。由于PECVD技術是通過應氣體放電來制備薄膜...

等離子體增強化學氣相沉積(plasma enhanced chemical vapor deposition，PECVD) 等離子體增強化學氣相沉積-制取方法 在沉積室利用輝光放電使其電離后在襯底上進行化學反應沉積的半導體薄膜材料制備和其他材料薄膜的制備方法。等離子體增強化學氣相沉積是：在化學氣相沉積中，激發(fā)氣體，使其產(chǎn)生低溫等離子體，增強反應物...