納米位移臺的非線性誤差如何補償？
納米位移臺 (Nanopositioning Stages) 的非線性誤差 (Non-linearity Error) 主要來源于驅動器（如壓電材料）的電壓-位移關系的非線性、機械結構的彈性變形以及傳感器的測量誤差等。這種非線性誤差會影響位置精度，特別是在高精度應用中須進行補償。下面詳細介紹幾種常用的非線性誤差補償方法。
1. 閉環(huán)控制系統(tǒng) (Closed-...
納米位移臺的反向路徑誤差如何校準？
納米位移臺的反向路徑誤差（Backlash Error，或稱回程誤差）是指在運動方向切換時，由于機械間隙、彈性變形或摩擦等因素，導致實際位置與目標位置之間的偏差。這種誤差對高精度定位要求的場景影響顯著，特別是往返運動中。
下面詳細介紹幾種反向路徑誤差校準方法，包括硬件和軟件層面的策略。
硬件層面的校準方法
采用預...
納米位移臺的摩擦補償方法有哪些？
納米位移臺的摩擦效應會導致運動滯后、爬行（stick-slip）、精度下降等問題，特別是在低速或小步進操作時更加明顯。常見的摩擦補償方法可以分為硬件層面和軟件層面的技術手段，下面詳細介紹幾種常用的摩擦補償方法：
硬件層面的摩擦補償方法
采用無摩擦驅動方式（如壓電驅動和磁懸浮驅動）特點：壓電驅動（Piezo Actuato...
如何消除納米位移臺的側向誤差
納米位移臺的側向誤差 是指 在位移過程中，除了預定的縱向移動外，還伴隨有水平或垂直方向的誤差，這可能影響納米位移臺的定位精度。側向誤差常見于 壓電驅動、電磁驅動和螺桿驅動 的納米位移臺，尤其是在操作時。以下是一些消除側向誤差的方法：
側向誤差的原因：
機械設計缺陷：支撐結構不對稱或剛性不足，導致在單軸...
如何根據(jù)載荷特性選擇納米位移臺的驅動方式？
2025-03-04行業(yè)資訊
選擇納米位移臺驅動方式 時，載荷特性（如 重量、慣性、剛性、精度要求、速度要求 等）起著關鍵作用。常見的驅動方式有 壓電驅動、電磁驅動、音圈驅動、螺桿驅動 等。以下是根據(jù)不同載荷特性選擇驅動方式的詳細指南:
1. 根據(jù)載荷重量選擇驅動方式
(1) 輕載 (< 100 g)
驅動: 壓電驅動 (Piezoelectric Drive)
原因:具有...
如何避免納米位移臺的機械共振現(xiàn)象？
避免納米位移臺的機械共振現(xiàn)象，對于提高其精度和穩(wěn)定性至關重要。共振會導致位置誤差、振蕩和控制失穩(wěn)，尤其在高頻操作時更加明顯。以下是一些有效的策略與方法，幫助減少或避免機械共振問題：
1. 調節(jié)驅動頻率（避開共振頻率）
原理：
每個納米位移臺都有固有的共振頻率（自然頻率）。
驅動頻率接近共振頻率時，容易引...