壓電旋轉(zhuǎn)臺-RA-3402A技術(shù)參數(shù)

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF-8382A技術(shù)參數(shù)

該產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。

三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一個SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平臺上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭，實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。

壓電二維納米位移臺使用壓電陶瓷驅(qū)動，運動無需潤滑，并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到亞納米級。步進和掃描雙模式工作，并且在宏觀行程范圍內(nèi)同樣達到亞納米分辨率的定位。支持開環(huán)閉環(huán)控制。

詳細(xì)情況歡迎您咨詢我們，客服電話：400-966-2800

壓電納米位移臺，納米壓電驅(qū)動馬達，使用壓電陶瓷作為運動促動元件 ，可以在數(shù)十毫米范圍內(nèi)實現(xiàn)納米級別的步長，從而解決了傳統(tǒng) 納米臺行程不足，而微米電動臺分辨率和精度不高的問題。

卓聚科技研發(fā)團隊自主研發(fā)的壓電驅(qū)動馬達，具有運動無需潤滑，真空兼容，可在從液氦溫區(qū)（-269攝氏度）至室溫的寬溫區(qū)內(nèi)工作等優(yōu)點。其運動分辨率達到納米級，具有步進和掃描雙工作模式，在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。其主要應(yīng)用領(lǐng)域有：基礎(chǔ)科研市場，半導(dǎo)體市場，先進制造業(yè)，生物醫(yī)藥行業(yè)，光學(xué)、通信等行業(yè)。

根據(jù)納米位移臺的運動軌跡，我司的位移臺分成三大類型，直線納米位移臺，旋轉(zhuǎn)納米位移臺，多軸納米位移臺。

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直線納米位移臺	旋轉(zhuǎn)納米位移臺	多軸納米位移臺

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設(shè)備支持真空環(huán)境。并且支持定制化的開孔位置，滿足不同的安裝場景。壓電陶瓷的驅(qū)動模塊使用，使設(shè)備具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。

壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺RF-5950A技術(shù)參數(shù)

360°行程，及高分辨率和精調(diào)步進是該旋轉(zhuǎn)臺的核心競爭力。

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