納米位移臺在高精度工作時，如果出現(xiàn)共振，會導致 震動放大、定位精度下降甚至損傷設備。要避免共振，可以從以下幾個方面入手：
1. 優(yōu)化運行參數(shù)
避免驅動頻率接近固有頻率：每個平臺都有固有諧振頻率，如果控制器的掃描頻率或步進頻率接近這個值，就容易引起共振。
調整加減速曲線：采用平滑的加速/減速曲線（如 S 曲線），避免突然啟停引發(fā)機械震動。
降低運動速度或步進頻率：當發(fā)現(xiàn)某一速度下震動明顯，可適當降低運行速度。
2. 結構與安裝
穩(wěn)固安裝平臺：確保位移臺固定牢靠，底座和安裝架足夠剛性，不存在松動。
減振隔離：使用減振臺、氣浮臺或橡膠墊隔離外部振動。
避免線纜牽拉：電纜應懸掛或合理布線，避免在運動時對平臺產(chǎn)生額外力。
3. 環(huán)境因素
遠離強振源：如真空泵、空調壓縮機、走動的人，都會把低頻振動傳到位移臺。
控制溫度波動：熱脹冷縮也會疊加到機械系統(tǒng)中，影響共振狀態(tài)。
4. 控制系統(tǒng)優(yōu)化
調整伺服或壓電控制器參數(shù)：如 PID 參數(shù)、濾波器設置。
加入阻尼：某些納米位移臺可選用帶阻尼的版本，或在控制算法中引入電子阻尼。