納米位移臺(tái)在做直線運(yùn)動(dòng)時(shí)出現(xiàn)偏移，是典型的精密運(yùn)動(dòng)誤差問題，通常不是單一原因，而是機(jī)械、控制和環(huán)境因素共同作用的結(jié)果?？梢詮囊韵聨讉€(gè)角度分析和處理： 機(jī)械因素 導(dǎo)軌或絲桿間隙：機(jī)械間隙、回差或?qū)к壊黄街?，?huì)導(dǎo)致臺(tái)體在正向移動(dòng)時(shí)偏離理想直線。 柔性鉸鏈或支撐結(jié)構(gòu)變形：載荷、慣性或臺(tái)體重量造成微小彎曲，...

納米位移臺(tái)微小位移“走不出來”，一般不是壞了，而是位移已經(jīng)被系統(tǒng)的各種非理想因素淹沒了，常見原因集中在驅(qū)動(dòng)、控制和機(jī)械三方面。 常見的是驅(qū)動(dòng)分辨率不夠。指令位移已經(jīng)小于驅(qū)動(dòng)器或控制器的最小輸出步長，電壓或脈沖雖然在變，但不足以克服系統(tǒng)阻力，實(shí)際位移為零，看起來就像不動(dòng)。 其次是靜摩擦和預(yù)緊力影響。微...

納米位移臺(tái)在做方向切換時(shí)不準(zhǔn)，通常不是單一問題，而是多種因素疊加造成的，常見原因可以從這幾個(gè)方面理解。 首先是機(jī)械層面。結(jié)構(gòu)間隙和回差是最典型原因，方向一旦反轉(zhuǎn)，間隙需要被重新“吃掉”，就會(huì)出現(xiàn)短距離內(nèi)不響應(yīng)或位置突變。摩擦力不對(duì)稱也很常見，正反方向受力狀態(tài)不同，導(dǎo)致切換瞬間位移不一致。柔性鉸鏈或薄...

納米位移臺(tái)在低速運(yùn)動(dòng)時(shí)出現(xiàn)爬行，是精密運(yùn)動(dòng)中很典型的問題，通常表現(xiàn)為走走停停、不連續(xù)，看起來不像“勻速”。原因主要集中在以下幾類。 首先是摩擦相關(guān)問題。低速時(shí)驅(qū)動(dòng)力很小，容易反復(fù)卡在靜摩擦和動(dòng)摩擦之間，出現(xiàn)典型的粘滑效應(yīng)。導(dǎo)軌、柔性結(jié)構(gòu)或接觸面摩擦不均勻，都會(huì)在低速下被放大，高速時(shí)反而不明顯。 其次...

納米位移臺(tái)在掃描時(shí)回程不一致，常見原因主要有 機(jī)械、控制和環(huán)境三類，下面詳細(xì)分析： 機(jī)械原因 回差（Backlash）：絲桿、齒輪或?qū)к壌嬖陂g隙，單方向運(yùn)動(dòng)后反方向回程會(huì)出現(xiàn)位置偏差。 摩擦不均或卡滯：摩擦力大小變化或潤滑不均會(huì)導(dǎo)致回程速度和末端位置不同。 彈性變形：柔性結(jié)構(gòu)或鉸鏈在受力時(shí)微小形變，回程方向受...

納米位移臺(tái)重復(fù)定位誤差大，是很多實(shí)驗(yàn)和高精密測量中常見的問題。造成誤差的原因通常涉及機(jī)械、控制和環(huán)境等多個(gè)方面，對(duì)應(yīng)的解決方法也不同。下面整理了系統(tǒng)的排查和優(yōu)化思路： 檢查并降低機(jī)械因素 重復(fù)定位誤差往往和 機(jī)械結(jié)構(gòu)缺陷 密切相關(guān)。 壓電堆/驅(qū)動(dòng)器不一致：不同致動(dòng)器增益、行程或預(yù)壓不一致，會(huì)導(dǎo)致每次運(yùn)...

納米位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)信號(hào)抖動(dòng)，一般指位置反饋、電流、電壓或測量信號(hào)出現(xiàn)高頻波動(dòng)或隨機(jī)噪聲，常見原因主要集中在以下幾方面（按實(shí)際工程中出現(xiàn)頻率）： 機(jī)械共振被激發(fā) 運(yùn)動(dòng)速度、加速度或掃描頻率接近位移臺(tái)固有頻率，柔性鉸鏈或臺(tái)體產(chǎn)生微振動(dòng)，直接反映到位置或傳感信號(hào)上。典型特征是抖動(dòng)有固定頻率，速度一變頻率也...

納米位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)軌跡不直，通常來自以下幾類原因疊加： 軸間耦合：只驅(qū)動(dòng)一個(gè)方向，其他方向卻跟著動(dòng)。多見于柔性鉸鏈解耦不徹底、壓電堆安裝偏心、結(jié)構(gòu)剛度不對(duì)稱。典型特征是軌跡呈穩(wěn)定的斜線或弧線，重復(fù)性很強(qiáng)。 柔性結(jié)構(gòu)或裝配誤差：鉸鏈加工誤差、裝配預(yù)緊不均、臺(tái)面受力不對(duì)稱，會(huì)導(dǎo)致“先天不直”。這種情況與掃描...

納米位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)時(shí)噪聲突然變大，通常是系統(tǒng)狀態(tài)或環(huán)境變化引起的，需要從機(jī)械、電氣和環(huán)境三方面排查。 機(jī)械問題：導(dǎo)軌松動(dòng)、滑塊潤滑不足或螺絲松動(dòng)，會(huì)導(dǎo)致運(yùn)動(dòng)時(shí)產(chǎn)生異常噪聲。長時(shí)間使用后，磨損或灰塵進(jìn)入也會(huì)加劇噪聲。 驅(qū)動(dòng)器或控制器異常：電機(jī)供電不穩(wěn)定、驅(qū)動(dòng)電流波動(dòng)或閉環(huán)控制信號(hào)異常，都會(huì)使臺(tái)體振動(dòng)增加...

納米位移臺(tái)可以實(shí)現(xiàn)等速掃描，但需要合理的控制方式和參數(shù)設(shè)置。 在閉環(huán)控制條件下，位移臺(tái)可通過速度控制或位置插補(bǔ)，實(shí)現(xiàn)一段穩(wěn)定的勻速運(yùn)動(dòng)區(qū)間，常用于表面輪廓掃描、顯微成像或同步信號(hào)采集。等速掃描通常出現(xiàn)在加速完成后的中間行程，而不是整個(gè)運(yùn)動(dòng)過程。 需要注意的是，起始和結(jié)束階段不可避免存在加減速段，真...