納米位移臺運(yùn)動軌跡不直，通常來自以下幾類原因疊加：
軸間耦合：只驅(qū)動一個方向，其他方向卻跟著動。多見于柔性鉸鏈解耦不徹底、壓電堆安裝偏心、結(jié)構(gòu)剛度不對稱。典型特征是軌跡呈穩(wěn)定的斜線或弧線，重復(fù)性很強(qiáng)。
柔性結(jié)構(gòu)或裝配誤差：鉸鏈加工誤差、裝配預(yù)緊不均、臺面受力不對稱，會導(dǎo)致“先天不直”。這種情況與掃描速度關(guān)系不大，慢速也彎。
壓電遲滯與蠕變：起步、換向或長時間運(yùn)動后軌跡逐漸跑偏。開環(huán)比閉環(huán)嚴(yán)重，時間越長越明顯。
驅(qū)動不一致（多致動器結(jié)構(gòu)）：不同壓電堆增益、行程或放大器輸出不一致，運(yùn)動中產(chǎn)生微旋轉(zhuǎn)，看起來像走彎線。
控制帶寬不足：速度一快就不直，減速后明顯改善。屬于動態(tài)誤差，控制跟不上指令。
掃描波形問題：鋸齒波、急加減速、無平滑過渡，換向瞬間容易偏航。
位置傳感器問題：傳感器非線性、安裝偏心或標(biāo)定不全行程，會“測歪→控歪”。
熱漂移與環(huán)境影響：自熱、溫漂、氣流、振動導(dǎo)致軌跡緩慢彎曲，重復(fù)性較差。