納米位移臺(tái)微小位移“走不出來(lái)”，一般不是壞了，而是位移已經(jīng)被系統(tǒng)的各種非理想因素淹沒(méi)了，常見(jiàn)原因集中在驅(qū)動(dòng)、控制和機(jī)械三方面。
常見(jiàn)的是驅(qū)動(dòng)分辨率不夠。指令位移已經(jīng)小于驅(qū)動(dòng)器或控制器的最小輸出步長(zhǎng)，電壓或脈沖雖然在變，但不足以克服系統(tǒng)阻力，實(shí)際位移為零，看起來(lái)就像不動(dòng)。
其次是靜摩擦和預(yù)緊力影響。微小位移時(shí)，驅(qū)動(dòng)力剛好卡在靜摩擦區(qū)間，位移臺(tái)需要“積累”到一定能量才會(huì)突然動(dòng)一下。這在低速、小步進(jìn)時(shí)非常明顯。
如果是壓電位移臺(tái)，遲滯和蠕變也是關(guān)鍵原因。很小的電壓變化并不會(huì)立刻轉(zhuǎn)化為可測(cè)位移，尤其在開(kāi)環(huán)狀態(tài)下，指令變化被材料非線性直接吃掉了。
控制參數(shù)不合適也會(huì)導(dǎo)致這種現(xiàn)象。PID 增益偏低或積分作用太弱，系統(tǒng)在微小誤差區(qū)間不去主動(dòng)糾偏，控制器認(rèn)為“已經(jīng)到位”，但實(shí)際位置還沒(méi)變化。
還有一個(gè)容易被忽略的問(wèn)題是傳感器分辨率。位移確實(shí)發(fā)生了，但已經(jīng)低于傳感器或顯示分辨率，看起來(lái)就像沒(méi)走，尤其在納米級(jí)以下時(shí)很常見(jiàn)。