納米位移臺(tái)的精度非常高（達(dá)到納米甚至亞納米級(jí)），因此在使用過(guò)程中如果出現(xiàn)誤操作，不僅會(huì)導(dǎo)致數(shù)據(jù)不準(zhǔn)確，還可能損壞設(shè)備。避免誤操作可以從以下幾個(gè)方面著手：
1. 操作前準(zhǔn)備
確認(rèn)負(fù)載：確保樣品或工件的重量不超過(guò)額定負(fù)載。
環(huán)境檢查：避免在強(qiáng)震動(dòng)、強(qiáng)電磁干擾或溫度波動(dòng)較大的環(huán)境下使用。
初始化：開(kāi)機(jī)后先執(zhí)行歸零或校準(zhǔn)，確保位移臺(tái)在可控范圍內(nèi)。
2. 軟件與控制設(shè)置
限制行程：在控制軟件中設(shè)置運(yùn)動(dòng)范圍上限，防止過(guò)沖。
速度控制：避免一開(kāi)始就設(shè)定過(guò)高速度，先用低速調(diào)試，確認(rèn)正常后再提高。
路徑規(guī)劃：在執(zhí)行復(fù)雜掃描或重復(fù)運(yùn)動(dòng)時(shí)，提前規(guī)劃好軌跡，避免隨意操作。
閉環(huán)模式：優(yōu)先使用閉環(huán)控制（有傳感器反饋），減少滯后和累計(jì)誤差。
3. 操作過(guò)程
避免手動(dòng)強(qiáng)行推動(dòng)：不要用手或外力去推位移臺(tái)，否則會(huì)損壞驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。