納米位移臺(tái)噪音大，可能影響測(cè)量精度和實(shí)驗(yàn)環(huán)境。處理方法可以從 機(jī)械、控制和環(huán)境 三方面入手：
1. 機(jī)械結(jié)構(gòu)與潤(rùn)滑優(yōu)化
檢查導(dǎo)軌和絲桿：清除灰塵、顆?；螂s質(zhì)，避免摩擦不均。
潤(rùn)滑：使用適合的真空脂或低噪音潤(rùn)滑劑，減少摩擦噪聲。
緊固件檢查：松動(dòng)的螺絲或支架容易引起共振噪音，應(yīng)及時(shí)擰緊。
減少松動(dòng)間隙：結(jié)構(gòu)松弛會(huì)導(dǎo)致振動(dòng)放大，影響噪音。
2. 控制系統(tǒng)調(diào)節(jié)
減小驅(qū)動(dòng)電流：過(guò)大的電流會(huì)產(chǎn)生振動(dòng)噪聲。
優(yōu)化運(yùn)動(dòng)速度和加速度：快速啟動(dòng)或停止會(huì)產(chǎn)生沖擊噪音，可降低速度或使用緩啟動(dòng)模式。
閉環(huán)控制：開(kāi)啟閉環(huán)反饋，可通過(guò)補(bǔ)償誤差減少機(jī)械震動(dòng)。
濾波與減震：在控制器中使用適當(dāng)濾波，降低高頻振動(dòng)。
3. 環(huán)境因素
安裝減震臺(tái)：使用隔振平臺(tái)或橡膠墊，避免外界振動(dòng)傳入。
溫度均勻：自熱會(huì)導(dǎo)致材料膨脹不均，從而產(chǎn)生微小振動(dòng)噪聲。
遠(yuǎn)離噪聲源：如風(fēng)扇、泵或其他機(jī)械設(shè)備。