納米位移臺初次使用前必須進行校準(zhǔn)，以確保運動精度、重復(fù)性和系統(tǒng)可靠性。正確的校準(zhǔn)步驟可避免長期使用中的累積誤差。
機械檢查
檢查導(dǎo)軌、螺桿或壓電驅(qū)動器是否清潔、無異物。
確認(rèn)緊固件、支撐件穩(wěn)固，無松動或偏心。
電氣與控制檢查
確認(rèn)電源、控制器、傳感器連接正常，信號無噪聲。
檢查閉環(huán)反饋系統(tǒng)是否啟用且響應(yīng)正常。
零位設(shè)定
將位移臺移動到機械或光學(xué)零位（Home），確保各軸原點對應(yīng)控制器坐標(biāo)零點。
范圍與極限測試
緩慢移動各軸至最大行程，確認(rèn)無卡滯、超程或異常摩擦。
測量各軸實際行程與標(biāo)稱行程是否一致。
速度與加速度校準(zhǔn)
設(shè)置初始低速移動，觀察響應(yīng)平穩(wěn)性。
逐步增加速度和加速度，確保運動連續(xù)且無振蕩。
反饋與重復(fù)性驗證
選擇參考點，進行多次往返移動，記錄位移反饋值，計算重復(fù)定位誤差。
必要時調(diào)整閉環(huán)增益或濾波參數(shù)，以優(yōu)化重復(fù)精度。
環(huán)境與載荷確認(rèn)
確認(rèn)安裝環(huán)境穩(wěn)定，振動小。
初次校準(zhǔn)時使用標(biāo)準(zhǔn)負(fù)載或無負(fù)載，以減少慣性和摩擦誤差影響。