納米位移臺(tái)是可以用于掃描的，而且在顯微成像、表面測(cè)量和定位系統(tǒng)中非常常見。
納米位移臺(tái)既可以做離散步進(jìn)掃描，也可以做連續(xù)掃描。步進(jìn)掃描通過(guò)設(shè)定固定步長(zhǎng)逐點(diǎn)移動(dòng)，定位精度高，適合需要精確停留測(cè)量的場(chǎng)景；連續(xù)掃描則以恒定速度運(yùn)動(dòng)，效率高，常用于面掃描或同步采集信號(hào)的應(yīng)用。
能否穩(wěn)定掃描，關(guān)鍵取決于控制方式和參數(shù)設(shè)置。閉環(huán)控制配合高分辨率位置反饋，更適合掃描應(yīng)用，可實(shí)時(shí)修正非線性、遲滯和漂移問(wèn)題。掃描速度、加速度過(guò)高，會(huì)引入振動(dòng)和跟蹤誤差，需根據(jù)分辨率要求合理降低。
另外，掃描范圍和負(fù)載也會(huì)影響效果。接近行程邊緣時(shí)，線性度和穩(wěn)定性通常變差；負(fù)載過(guò)大或重心不穩(wěn)，容易引入掃描畸變。
只要合理設(shè)置控制模式、掃描速度和路徑，并避開行程邊緣的高精度掃描，納米位移臺(tái)完全可以勝任穩(wěn)定、可重復(fù)的掃描任務(wù)。