納米位移臺(tái)的運(yùn)動(dòng)曲線(xiàn)設(shè)定，核心目的是在速度、精度和穩(wěn)定性之間取得平衡。
首先是運(yùn)動(dòng)曲線(xiàn)類(lèi)型選擇。常見(jiàn)有梯形速度曲線(xiàn)和 S 型曲線(xiàn)。梯形曲線(xiàn)設(shè)置簡(jiǎn)單，但加速度突變，容易引起振動(dòng)；S 型曲線(xiàn)加速度變化平滑，更適合納米級(jí)定位和掃描應(yīng)用。
其次是速度與加速度參數(shù)。速度不宜設(shè)得過(guò)高，否則會(huì)放大結(jié)構(gòu)振動(dòng)和跟蹤誤差；加速度過(guò)大，啟動(dòng)和停止時(shí)容易出現(xiàn)抖動(dòng)。通常應(yīng)從較小速度、較低加速度開(kāi)始，再逐步增加，觀(guān)察運(yùn)動(dòng)是否平穩(wěn)。
第三是掃描與定位場(chǎng)景區(qū)分。定位移動(dòng)可使用較慢、平滑的曲線(xiàn)保證最終精度；連續(xù)掃描則采用勻速段較長(zhǎng)、加減速段平緩的曲線(xiàn)，避免邊緣畸變。
另外要考慮負(fù)載和安裝方向。負(fù)載越大或豎直安裝，對(duì)運(yùn)動(dòng)曲線(xiàn)越敏感，需要更保守的加速度設(shè)置。
總體來(lái)說(shuō)，納米位移臺(tái)運(yùn)動(dòng)曲線(xiàn)應(yīng)優(yōu)先選擇平滑型（如 S 曲線(xiàn)），并根據(jù)負(fù)載、精度要求和應(yīng)用模式，逐步優(yōu)化速度與加速度參數(shù)，以獲得穩(wěn)定、可重復(fù)的運(yùn)動(dòng)效果。