納米位移臺可以實(shí)現(xiàn)等速掃描，但需要合理的控制方式和參數(shù)設(shè)置。
在閉環(huán)控制條件下，位移臺可通過速度控制或位置插補(bǔ)，實(shí)現(xiàn)一段穩(wěn)定的勻速運(yùn)動(dòng)區(qū)間，常用于表面輪廓掃描、顯微成像或同步信號采集。等速掃描通常出現(xiàn)在加速完成后的中間行程，而不是整個(gè)運(yùn)動(dòng)過程。
需要注意的是，起始和結(jié)束階段不可避免存在加減速段，真正的等速區(qū)應(yīng)避開行程兩端。掃描速度過高，容易引入跟蹤誤差和振動(dòng)；速度過低，則可能受溫漂和噪聲影響。
負(fù)載大小、安裝方向和控制器性能也會(huì)影響等速效果。負(fù)載越大或豎直安裝，對速度穩(wěn)定性要求越高，參數(shù)應(yīng)更保守。
總體來看，只要采用閉環(huán)控制、設(shè)置平滑加減速曲線，并在中間行程進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，納米位移臺是可以穩(wěn)定實(shí)現(xiàn)等速掃描的。