納米位移臺運動時信號抖動，一般指位置反饋、電流、電壓或測量信號出現(xiàn)高頻波動或隨機噪聲，常見原因主要集中在以下幾方面（按實際工程中出現(xiàn)頻率）：
機械共振被激發(fā)
運動速度、加速度或掃描頻率接近位移臺固有頻率，柔性鉸鏈或臺體產(chǎn)生微振動，直接反映到位置或傳感信號上。典型特征是抖動有固定頻率，速度一變頻率也變。
控制環(huán)增益過高或相位裕度不足
閉環(huán) PID 參數(shù)過激，尤其是 P、I 偏大，系統(tǒng)處于“準振蕩”狀態(tài)。靜止時還好，一運動就開始抖。
控制帶寬與運動指令不匹配
指令變化太快（高加速度、陡波形），控制器跟不上，導(dǎo)致跟蹤誤差在反饋中表現(xiàn)為抖動。
傳感器噪聲本身較大
電容、應(yīng)變、光柵等傳感器受電磁干擾、前端放大器噪聲、線纜屏蔽不良影響。抖動幅值小但頻率高，且與速度相關(guān)性不強。
采樣與控制不同步
ADC 采樣、控制計算和輸出更新不同步，或存在固定延遲，運動時誤差被周期性放大，看起來像規(guī)則抖動。
驅(qū)動放大器噪聲或電源紋波
高壓壓電驅(qū)動器本身的開關(guān)噪聲、電源紋波，會直接疊加到位移響應(yīng)上。
機械裝配松動或預(yù)緊不足
微小間隙在動態(tài)載荷下反復(fù)釋放，信號表現(xiàn)為不規(guī)則抖動，重復(fù)性差。
外界振動耦合
地面振動、真空泵、風(fēng)扇、氣流等，通過結(jié)構(gòu)傳到位移臺，運動時更容易被放大。
數(shù)字濾波設(shè)置不當
濾波太弱抑噪不足，太強又引入相位滯后，閉環(huán)中反而誘發(fā)抖動。