要在軟件里實(shí)現(xiàn)“納米位移臺(tái)”的精確掃描路徑，可以把問題拆成路徑生成→運(yùn)動(dòng)整形→定時(shí)與同步→閉環(huán)與補(bǔ)償→標(biāo)定與畸變校正→安全與魯棒性六個(gè)層面。
一、路徑生成（你到底想走哪些點(diǎn)）
選掃描拓?fù)?br /> 經(jīng)典：逐行光柵（raster）、蛇形（serpentine，奇偶行反向避免回程）、螺旋（spiral）、李沙育（Lissajous，均勻覆蓋、頻域友好）、自定義 ROI 網(wǎng)格。
設(shè)置網(wǎng)格參數(shù)
視場(chǎng)大小 Lx×Ly、采樣點(diǎn)數(shù) Nx×Ny、像素駐留時(shí)間 dwell、overscan（左右各加幾列像素用于回掃整定）。
生成目標(biāo)點(diǎn)列（世界坐標(biāo)或電壓坐標(biāo)）
x[i], y[i] 通常用等距或基于畸變 LUT 的非等距采樣；蛇形掃描行間反轉(zhuǎn)，減少飛返時(shí)間。
二、運(yùn)動(dòng)整形（同樣的路徑要“怎么走”）
速度曲線選 S 曲線（限加速度/限加加速度）而不是梯形，降低共振激發(fā)，縮短整定時(shí)間。
為每條線的首尾加“前奏/尾奏”段（ramp-in/out）和“回掃段”（retrace），不采集數(shù)據(jù)但讓平臺(tái)穩(wěn)態(tài)。
前饋?lái)?xiàng)：對(duì)目標(biāo)位移加速度前饋/速度前饋，壓電平臺(tái)再加電容負(fù)載補(bǔ)償（等效 RC 前饋）。
三、定時(shí)與同步（讓位移與采集同拍）
用硬件時(shí)鐘做主時(shí)基：DAQ/FPGA 的 sample clock 作為像素時(shí)鐘。
位置更新與采集觸發(fā)
DAC 更新出碼 → 驅(qū)動(dòng)器響應(yīng) → 等待整定窗口 → 觸發(fā)探測(cè)器采樣（或由像素時(shí)鐘觸發(fā) ADC/相機(jī)）。
雙緩沖/環(huán)形緩沖：邊輸出下一行，邊處理上一行數(shù)據(jù)，避免軟件抖動(dòng)。
盡量走實(shí)時(shí)鏈路（EtherCAT、FPGA、RT 內(nèi)核），不要依賴普通 USB 計(jì)時(shí)。
四、閉環(huán)與補(bǔ)償（把不可控變成可控）
閉環(huán)位置控制
高帶寬位置環(huán)（P/PI + 適量 D 或二自由度控制），積分只消除慢漂；必要時(shí)在回掃段才強(qiáng)積分。
非線性與蠕變補(bǔ)償
壓電：電壓→位移用 LUT 線性化，疊加簡(jiǎn)單蠕變模型 Δx≈Σ Ai(1?e^(?t/τi)) 做前饋；或上位機(jī)離線標(biāo)定生成逆模型。
反向間隙/粘滯
電機(jī)臺(tái)：雙向往返標(biāo)定 backlash，用雙擊打（預(yù)加載）或軟件預(yù)沖量補(bǔ)償；壓電臺(tái)：微粘滯檢測(cè)到就改為單向蛇形或提高前饋。
漂移校正
定期插入“錨定幀”：對(duì)參考花紋/特征做互相關(guān)估計(jì)漂移量并微調(diào)接下來(lái)的路徑；或?qū)崟r(shí)融合傳感器溫度模型做溫漂補(bǔ)償。
五、標(biāo)定與畸變校正（把指令坐標(biāo)映成真實(shí)坐標(biāo)）
標(biāo)定網(wǎng)格
用標(biāo)準(zhǔn)樣品（微納標(biāo)尺）掃描，擬合得到從理想網(wǎng)格到測(cè)得坐標(biāo)的映射：仿射 + 二維多項(xiàng)式/薄板樣條。
在線糾偏
掃描前把目標(biāo)點(diǎn)陣先過一次“反畸變映射”得到發(fā)給平臺(tái)的點(diǎn)列，采集后再做“正畸變”復(fù)原，前后閉環(huán)一致。
雙向偏置
蛇形掃描下，奇偶行會(huì)有常量偏移，單獨(dú)測(cè)得 Δx_odd/Δx_even，在線修正。
六、安全與魯棒性（別讓精度輸給意外）
軟硬限位、斜坡上電/下電、看門狗超時(shí)回零。
超差策略：誤差>閾值時(shí)自動(dòng)降速/增駐留或重掃該行。
日志與追蹤：把時(shí)戳、目標(biāo)/實(shí)際位置、誤差、溫度、觸發(fā)號(hào)全記錄，便于復(fù)盤。