納米位移臺(tái)在高精度工作時(shí)，如果出現(xiàn)共振，會(huì)導(dǎo)致 震動(dòng)放大、定位精度下降甚至損傷設(shè)備。要避免共振，可以從以下幾個(gè)方面入手：
1. 優(yōu)化運(yùn)行參數(shù)
避免驅(qū)動(dòng)頻率接近固有頻率：每個(gè)平臺(tái)都有固有諧振頻率，如果控制器的掃描頻率或步進(jìn)頻率接近這個(gè)值，就容易引起共振。
調(diào)整加減速曲線：采用平滑的加速/減速曲線（如 S 曲線），避免突然啟停引發(fā)機(jī)械震動(dòng)。
降低運(yùn)動(dòng)速度或步進(jìn)頻率：當(dāng)發(fā)現(xiàn)某一速度下震動(dòng)明顯，可適當(dāng)降低運(yùn)行速度。
2. 結(jié)構(gòu)與安裝
穩(wěn)固安裝平臺(tái)：確保位移臺(tái)固定牢靠，底座和安裝架足夠剛性，不存在松動(dòng)。
減振隔離：使用減振臺(tái)、氣浮臺(tái)或橡膠墊隔離外部振動(dòng)。
避免線纜牽拉：電纜應(yīng)懸掛或合理布線，避免在運(yùn)動(dòng)時(shí)對(duì)平臺(tái)產(chǎn)生額外力。
3. 環(huán)境因素
遠(yuǎn)離強(qiáng)振源：如真空泵、空調(diào)壓縮機(jī)、走動(dòng)的人，都會(huì)把低頻振動(dòng)傳到位移臺(tái)。
控制溫度波動(dòng)：熱脹冷縮也會(huì)疊加到機(jī)械系統(tǒng)中，影響共振狀態(tài)。
4. 控制系統(tǒng)優(yōu)化
調(diào)整伺服或壓電控制器參數(shù)：如 PID 參數(shù)、濾波器設(shè)置。
加入阻尼：某些納米位移臺(tái)可選用帶阻尼的版本，或在控制算法中引入電子阻尼。