納米位移臺(tái)的位置讀取方式，用于獲取實(shí)際位移信息，是實(shí)現(xiàn)精密定位和閉環(huán)控制的基礎(chǔ)。不同讀取方式在精度、響應(yīng)和穩(wěn)定性上各有特點(diǎn)。
內(nèi)置傳感器讀?。ㄩ]環(huán)）
通過(guò)電容式、應(yīng)變式或光柵傳感器實(shí)時(shí)測(cè)量位移。
精度高、重復(fù)性好，適合納米級(jí)定位與長(zhǎng)期運(yùn)行。
驅(qū)動(dòng)指令推算（開(kāi)環(huán)）
根據(jù)驅(qū)動(dòng)電壓或步數(shù)推算位置。
結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，但易受溫漂、負(fù)載和非線性影響。
外部測(cè)量設(shè)備讀取
使用激光干涉儀或外置位移傳感器獨(dú)立測(cè)量。
精度高，常用于校準(zhǔn)和性能評(píng)估。
軟件顯示與數(shù)據(jù)記錄
控制軟件實(shí)時(shí)顯示位置反饋，并可同步記錄數(shù)據(jù)，便于分析與追溯。